SOGEVAC 機組的典型應用領域包括工業(yè)、研究和化學。其中重點是金屬生產(chǎn)和加工、干燥和脫氣、熱處理、太陽能部件和半導體制造領域中的鍍膜以及表面細化等工藝。SOGEVAC 機組還可用作高真空系統(tǒng)的前級泵組，與擴散泵、渦輪分子泵和低溫泵結合使用。

在常見的真空爐工藝中，例如硬化、退火、硬釬焊、熔化和鑄造，通常優(yōu)選使用油封或干式壓縮標準真空泵系統(tǒng)。油封系統(tǒng)由羅茨真空泵與單級或雙級旋片組合而成。